Продолжение табл. 1.1
|
|
3 |
а |
0,005–20 |
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
|
в |
|
20 |
10 |
102,5 |
150 |
|
|
|
г |
0,1–20 |
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
0,1–15 |
|
|
152,5 |
250 |
|
|
4 |
а |
0,005–20 |
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
|
в |
|
15 |
10 |
102,5 |
150 |
|
|
|
г |
0,1–20 |
|
|
127,5 |
150 |
4 |
|
|
д |
0,1–15 |
|
|
152,5 |
200 |
|
5 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
150 |
|
|
|
в |
20–40 |
35 |
15 |
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
250 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
|
|
6 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
20–40 |
25 |
15 |
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
Продолжение табл. 1.1
|
|
7 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
20–40 |
20 |
15 |
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
102,5 |
150 |
|||
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
150 |
|
|
8 |
а |
20–40 |
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
20–40 |
20 |
10 |
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
20–80 |
102,5 |
150 |
||
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
г |
20–40 |
|
|
127,5 |
150 |
|
ЭКЭС |
11 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
0,01–1 |
35 |
20 |
78,5 |
150 |
5 |
|
|
в |
|
|
|
102,5 |
200 |
|
12 |
а |
0,01–1 |
20 |
15 |
62,5 |
100 |
|
|
|
|||||||
|
|
|
б |
78,5 |
100 |
|||
|
|
|
|
|
|
|||
|
ЭКЭФ |
21 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
150 |
|
|
|
в |
0,1–20 |
40 |
20 |
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
|
|
22 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
0,1–20 |
30 |
15 |
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
Окончание табл. 1.1
|
|
23 |
а |
0,1–20 |
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
|
в |
|
20 |
15 |
102,5 |
150 |
|
|
|
г |
0,1–15 |
|
|
127,5 |
150 |
|
|
|
д |
|
|
152,5 |
200 |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
24 |
а |
0,1–20 |
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
|
в |
|
20 |
10 |
102,5 |
150 |
|
|
|
г |
0,1–15 |
|
|
127,5 |
150 |
|
|
|
д |
|
|
152,5 |
200 |
|
6 |
|
|
|
|
|
|||
|
|
25 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
150 |
|
|
|
в |
20–40 |
40 |
20 |
102,5 |
250 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
250 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
|
|
26 |
а |
|
|
|
62,5 |
100 |
|
|
|
б |
|
|
|
78,5 |
100 |
|
|
|
в |
20–40 |
30 |
15 |
102,5 |
200 |
|
|
|
г |
|
|
|
127,5 |
200 |
|
|
|
д |
|
|
|
152,5 |
250 |
П р и м е ч а н и я:
1.Слитки с указанной базовой длиной должны составлять не менее 75 % общего объема данной марки кремния.
2.Минимальная длина слитков монокристаллического кремния не должна быть менее диаметра слитка.
1.2.Кристаллографическая ориентация плоскости торцевого среза монокристаллического слитка кремния – (111) или (100) индекс «м» и (013) индекс «э» для слитков кремния, легированных бором и фосфором, с удельным электрическим сопротивлением 1–15 Ом·см.
1.3.Угол отклонения плоскости торцевого среза монокристаллических слитков кремния от заданной кристаллографической плоскости (h k l) не должен превышать 3°.
7
1.4. Допускаемое предельное отклонение диаметра слитков кремния от номинального не должно превышать плюс 3 – минус 2 мм.
1.5. Допускается обработка боковой поверхности слитков монокристаллического кремния при их доведении до заданного диаметра. Допускаются слитки кремния с протравленными торцами.
1.6. По требованию потребителя слитки кремния могут быть изготовлены с номинальными диаметрами 60, 76, 100, 125, 150 мм с допускаемыми отклонениями ±0,5 мм (индекс
«к1»).
По согласованию изготовителя с потребителем слитки кремния могут быть изготовлены с номинальными диаметрами 60, 76, 100, 125, 150 мм с допускаемыми отклонениями
±0,1 мм (индекс «к2»).
1.7. По требованию потребителя слитки кремния, легированного фосфором или бором, с удельным электрическим сопротивлением 0,3 Ом·см и более должны быть изготовлены без свирлевых дефектов (индекс «с1») – для слитков с ориентацией (100) и (013) и (индекс «с2») – для слитков с ориента-
цией (111).
Плотность микродефектов, выявляемых травлением, не должна быть более 2·105 см-2 для слитков с ориентацией (100) и (013) индекс «с1» и не более 3·105 см-2 – для слитков с ориентацией (111) (индекс «с2»).
1.8. Кристаллографическая ориентация плоскости торцевого среза, угол отклонения плоскости торцевого среза от заданной кристаллографической плоскости, отсутствие внешних дефектов, концентрация оптически активных атомов кислорода и углерода, концентрация атомов микропримесей железа, золота и меди, плотность дислокаций, время жизни неравновесных носителей заряда (для слитков без индексов «е» и «р») и отсутствие свирлевых дефектов для слитков с индексами «с1 и с2» обеспечивается технологией изготовления.
8