Приложение 1.
Техника безопасности.
1. Установка МОС-гидридной эпитаксии относится к категории взрыво- и огнеопасных, а также опасных с точки зрения токсичности в связи с использованием в технологическом процессе гидридов, металлоорганических соединений и водорода. По электрической безопасности она представляет собой экспериментальную технологическую установку с напряжением до 1000 В.
В связи с этим во время обучения студент обязан изучить инструкцию по эксплуатации данной установки, инструкции по технике безопасности при работе с водородом, гидридами и МОС и правила технической эксплуатации электроустановок с напряжением до 1000 В.
2. Во время работы на установке должны соблюдаться следующие правила:
-обучающийся студент может производить оперативные переключения и другие работы только с разрешения и под надзором руководителя;
-работа на установке разрешена только при включенной вентиляции;
-для предотвращения образования взрывоопасных смесей и МОС с воздухом, а также для проверки герметичности установки произвести откачку реактора и подводящих трубопроводов форвакуумным насосом с масляной ловушкой;
-перед подачей напряжения на нагреватель реактора включить водяное охлаждение фланцев реактора для предотвращения разгерметизации системы из-за перегрева тефлоновых прокладок. При прекращении подачи воды работа должна быть остановлена;
-по окончании процесса роста закрыть баллоны с гидридами и вентили на испарителях (барбатерах) с МОС, продуть газовую систему в течение 5 мин. для удаления токсичных продуктов и откачать установку на форвакуум.
16